光学涂层工具


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AVIOR M-300超高精度溅射工具

AVIOR M-300是一台独特的高端生产设备。 采用先进的反应溅射技术,该工具适用于大批量,具有复杂的膜层设计的镀膜生产。 向上溅射(基板面朝下)的配置确保最小的杂质颗粒数量,并提供可重复性极高的镀膜过程,在整个靶材寿命周期内具有长期的稳定性。 阅读更多 >>

AVIOR S-100先进光学溅射工具

Avior S-100是一款一体式,即插即用的生产设备,非常适合小批量生产以及准备进入溅射光学镀膜市场的厂商。 先进的脉冲磁控溅射工艺提供了高的沉积速率,用于制造具有无定形结构,低缺陷和高机械和环境稳定性的致密,无移位膜。 阅读更多 >>

ALASCO O-200模块化光学镀膜工具

Alasco O-200是一款通用的模块化设备平台。 不仅限于溅射,该模块化可配置平台是研发和生产尖端光学镀膜的理想选择。 如等离子体沉积离子注入(PIII),闪光灯退火(FLA)模块和原位计量等,面向未来的技术可应用于定制工具的配置。 阅读更多 >>

ALIOTH多功能连续线镀膜工具

Alioth是一个多功能的连续线生产设备。 Alioth具有广泛的应用领域。从大批量的小基板到单一的大面积基板,Alioth可满足在光学镀膜领域中的灵活性和可持续性需求。 该平台设计用于生产电介质膜层,金属 - 电介质膜层以及TCO膜层 阅读更多 >>

先进的制程,可满足数百层膜系的制备
安全可靠的生产性能
高的基板吞吐量
集成多个制程
经济高效的生产
灵活性高,适应将来的升级和应用

"实现超高精度光学镀膜过程,提供具有非凡品质的薄膜,极大地惠及我们的客户."

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