批量生产工具


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SOLAYER - Vertical Inline Coating

垂直连续线镀膜工具

垂直镀膜设备是基于PVD和PECVD技术的模块化概念。 提前预组装模块集成了电源模组,可实现快速和零错误安装。 独特的基板运输方式,降低了拥有成本,占地面积以及维护成本。

SOLAYER - Horizontal Inline Coating

水平连续线镀膜工具

水平镀膜工具旨在满足高产量的要求。 通过线性传输系统和并行多工艺操作,该设备还提供,基于溅射,PECVD,ALD和FLA组合工艺的基板清洗,蚀刻,沉积和退火功能.

SOLAYER - Optical Coating Tool

精密光学工具

模块化可扩展平台旨在满足24/7生产环境下的高精度镀层的要求。 全自动镀膜机可满足高质量的膜层溅射沉积,为复杂的堆叠设计提供出色的工艺灵活性。 阅读更多

根据客户要求提供具体解决方案
高产量
最高的靶材利用率
最快速的靶材替换
高沉积速率
安全可靠的生产性能
极高的均匀性
可提供升级以满足未来需求
整合先进的流程

"该生产工具不仅提供高产量,高沉积速率而且在拥有成本最低的情况下实现最高的靶材利用率"

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