研发和试点系统


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SOLAYER - Cluster Tool

多功能集群沉积工具

Solayer的集群工具是一台全自动化的沉积以及分析系统。 用于研发,试点和小规模生产。 该系统具有中央分布室和机械臂,用于处理基于PVD,PECVD,ALD,PLD,IBAD,XPS,XRF,AES,SPM,MOKE和FLA技术的薄膜层。

SOLAYER - Roll-to-Roll Coating

卷绕式镀膜机

卷绕式(R2R)镀膜机是基于柔性基板(塑料/聚合物箔或薄玻璃)上的材料溅射的模块化工艺设计。可以满足扩大系统配置,进行离子束/微波预处理,卤素灯或闪光灯退火(FLA)模块的集成。

SOLAYER - Co-Sputter Deposition

共溅射集群式系统

该系统基于磁控溅射。在一个/两个腔室内,可放置多达6个溅射源(独立的DC或RF)。 具有自动加载和先进角度/ T-S定位,梯度以及混合膜层的沉积使得产品可面向更广泛的应用市场。

SOLAYER - Atomic Layer Deposition

用于超薄膜层的ALD工具

原子层沉积(ALD)工具是一款定制的R2R设备,可在高的高宽比下提供高度的层一致性,并精确控制膜层厚度。 该工具专为先进研发过程以及工业制造规模而设计。

SOLAYER - Optical Coating

高精密镀膜设备

完全定制的平台提供了磁控溅射,蒸发和原位计量的独特组合。 这种小规模的生产工具,可以在最大200mm直径的基板上进行镀膜,非常适用于镜片,镜子,滤光片等多膜层的处理需求。阅读更多 阅读更多

SOLAYER - Ion Implantation

离子注入工具

离子注入机是一款基于PBII技术的独特工具,用于改变或修正不同材料的表面性质,创造出远离热平衡的材料新相及合金。 它基于模块化概念,用于离子注入,掺杂和沉积工艺。

定制工具的设计和开发
工具结构灵活可变
广泛的薄膜技术
多种基材形状和材料
可扩展到研发,试点及批量生产
整合先进的制程

"为新兴技术提供独特的特性薄膜而开发的镀膜工具"

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