表面处理


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SOLAYER - FLA in R2R

面向工业应用的模块化FLA

FLA模块的设计和制造,旨在为工业连续线以及R2R应用提供超短退火工艺。 带水冷装置的闪光灯模块可与现有的连续线工具进行集成,同样也可以应用在大气环境镀膜系统中。

SOLAYER - FLA for R & D

面向研发应用的FLA系统

FLA系统被设计为独立的实验室系统,用于先进半导体的处理过程。 面向R&D应用的全自动热处理系统包含闪光灯阵列,电源柜以及其他组件,满足无尘间的安装要求.

SOLAYER - Ion Implantation

离子处理

离子注入机是基于PBII技术的独特工具,用于改变或修改不同材料的表面性能,创造出远离热平衡的新相和合金。 它基于用于离子注入,掺杂和沉积工艺的模块化概念.

超短的处理时间,“仅仅”对表面进行处理
适用于温度敏感基材的退火
可扩展的处理区域,以适应连续线,R2R以及研发系统
能源和成本最大效益的热处理过程
满足真空和大气环境
单次和多次闪光操作

“高效的表面处理,提高硬性,柔性基板表面以及3D物体膜层的性质”

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