Anlagen zur Serienproduktion


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SOLAYER - Vertical Inline Coating

Vertikale Inline-Beschichtungsanlage

Die vertikale Beschichtungsanlage basiert auf einem modularen Konzept für PVD- und PECVD-Technologien. Die vormontierten Module mit integriertem elektrischen Versorgungsaggregat ermöglichen eine schnelle und fehlerfreie Montage. Durch den einzigartigen Substrattransport werden Cost of Ownership, Standfläche und Wartung reduziert.

SOLAYER - Horizontal Inline Coating

Horizontale Inline-Beschichtungsanlage

Die horizontale Beschichtungsanlage wird für hohe Durchsatzanforderungen gebaut. Neben einem linearen Transfersystem und parallelem Multi-Prozess-Betrieb bietet die Anlage auch Substratreinigung, Ätzen, Abscheidung und Temperung – basierend auf den kombinierten Prozessen Sputtern, PECVC, ALD und FLA.

SOLAYER - Optical Coating Tool

Anlagen für die Präzisionsoptik

Die modularen, skalierbaren Plattformen wurden gemäß den Anforderungen einer 24 Stunden – 7 Tage-Produktionsumgebung für Hochpräzisionsschichten entwickelt. Die vollautomatischen Beschichtungsanlagen ermöglichen eine Sputterabscheidung hochqualitativer Schichten, die eine herausragende Prozessflexibilität für anspruchsvolle Schichtstapeldesigns bieten.  Mehr

Spezifische Lösungen nach Kundenanforderung

Hoher Substratdurchsatz

Höchste Target-Ausnutzung

Schnellster Targetwechsel

Hohe Abscheideraten

Sichere und verlässliche Produktionsperformance

Sehr hohe Homogenität

Nachrüstungsmöglichkeit für zukünftige Bedarfe

Integration fortschrittlicher Prozesse

„Produktionsanlagen, die einen hohen Substratdurchsatz, hohe Abscheideraten und die höchste Target-Ausnutzung zum geringsten Cost of Ownership liefern.“

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