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Vertikale Inline-Beschichtungsanlage
Die vertikale Beschichtungsanlage basiert auf einem modularen Konzept für PVD- und PECVD-Technologien. Die vormontierten Module mit integriertem elektrischen Versorgungsaggregat ermöglichen eine schnelle und fehlerfreie Montage. Durch den einzigartigen Substrattransport werden Cost of Ownership, Standfläche und Wartung reduziert.
Horizontale Inline-Beschichtungsanlage
Die horizontale Beschichtungsanlage wird für hohe Durchsatzanforderungen gebaut. Neben einem linearen Transfersystem und parallelem Multi-Prozess-Betrieb bietet die Anlage auch Substratreinigung, Ätzen, Abscheidung und Temperung – basierend auf den kombinierten Prozessen Sputtern, PECVC, ALD und FLA.
Anlagen für die Präzisionsoptik
Die modularen, skalierbaren Plattformen wurden gemäß den Anforderungen einer 24 Stunden – 7 Tage-Produktionsumgebung für Hochpräzisionsschichten entwickelt. Die vollautomatischen Beschichtungsanlagen ermöglichen eine Sputterabscheidung hochqualitativer Schichten, die eine herausragende Prozessflexibilität für anspruchsvolle Schichtstapeldesigns bieten. Mehr
Spezifische Lösungen nach Kundenanforderung
Hoher Substratdurchsatz
Höchste Target-Ausnutzung
Schnellster Targetwechsel
Hohe Abscheideraten
Sichere und verlässliche Produktionsperformance
Sehr hohe Homogenität
Nachrüstungsmöglichkeit für zukünftige Bedarfe
Integration fortschrittlicher Prozesse