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Modulares FLA zur industriellen Anwendung
Die FLA-Module sind so konzipiert und hergestellt, dass sie ultrakurze Temperungsprozesse in industriellen Inline- und R2R-Anwendungen ausführen können. Die wassergekühlten Lampenmodule können sofort in bestehende Inline-Anlagen integriert werden, welche auch an atmosphärische Beschichtungssysteme angepasst werden können.
FLA-System für F&E
Die FLA-Systeme sind als Einzellaborsysteme für die fortgeschrittene Halbleiterherstellung konzipiert. Das vollautomatische Wärmebehandlungssystem für F&E umfasst Blitzlampen-Arrays, elektrische Spannungsversorgungsschränke und andere Komponenten, die direkt im Reinraum installiert werden können.
Ionenbehandlung
Die Ionenimplantations-Anlage ist ein einzigartiges System, das auf Grundlage der PIII-Technologie die Oberflächeneigenschaften verschiedener Materialien ändern oder modifizieren kann, wodurch weitab vom thermischen Gleichgewicht neue Phasen und Legierungen entstehen. Es basiert auf einem modularen Konzept für Ionenimplantations-, Dotierungs- und Abscheideprozesse.
Ultrakurze Behandlung „ausschließlich“ der Oberfläche
Temperung temperaturempfindlicher Substrate
Skalierbare Behandlungsfläche zur Anpassung für Inline-, R2R- und F&E-Anwendungen
Energie- und kosteneffizienter thermischer Prozess
Vakuum und atmosphärische Umgebung
Einzel- und Mehrfachblitz-Regime