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![SOLAYER – Dual Rotatable Magnetron SOLAYER - Dual Rotatable Magnetron](https://solayer.de/wp-content/uploads/2016/11/Components_2-1.png)
Rotations-Magnetron
Der kundenspezifische „Drop-In“-Prozessdeckel ist ein Komplettpaket des Rotations-Doppelmagnetrons (DRM), bestehend aus Magnetbars, Endblöcken, integrierten Anoden, Netzanschlüssen usw. Die „Drop-In“-Lösung lässt sich leicht anschließen und ist sofort einsatzbereit. Sie bietet Hardware-Einbindung in Ihre vorhandene Beschichtungsanlage.
![SOLAYER – Magnet bar SOLAYER - Magnet bar](https://solayer.de/wp-content/uploads/2016/10/Components_1.png)
Magnetsystem
Das Magnetsystem mit hoher Magnetfeldstärke für Rotations-Magnetrons basiert auf Solayers IN-DRY®-Magneten, hermetisch gekapselt in einem Mantelrohr aus Edelstahl. Die Aufnahme des Magnetsystems, dessen Position angepasst werden kann, kann für Endblöcke verschiedener Anbieter konfiguriert werden.
![SOLAYER – End Block SOLAYER - End Block](https://solayer.de/wp-content/uploads/2016/11/Components_3.png)
Endblock
Der horizontal oder vertikal montierbare Endblock für Rotations-Magnetrons kann für Standard-Targets aller Anbieter leicht nachgerüstet werden. Das kompakte Design des Endblocks ermöglicht eine größere Target-Materiallänge mit erweitertem Homogenitätsbereich bei gleicher Beschichtungsanlagenbreite.
![SOLAYER – Linear Planar Magnetron SOLAYER - Linear Planar Magnetron](https://solayer.de/wp-content/uploads/2016/11/Planar.png)
Planar-Magnetron – Linear
Die linearen Planar-Magnetrons von Solayer schließen Einzel- und Doppel-Sputter-Quellen ein, mit denen sich eine sehr hohe Target-Ausnutzung erreichen lässt. Durch die membranfreie Konstruktion mit intelligenten Dichtungstechniken kann kein Wasser austreten. Solayers IN-DRY®-Lösung ermöglicht eine hohe Langzeitstabilität und Performance der Magnetkonfigurationen.
![SOLAYER – Circular Planar Magnetron SOLAYER - Circular Planar Magnetron](https://solayer.de/wp-content/uploads/2016/11/Components_5.png)
Planar-Magnetron – Rund
Das Runde-Magnetron ist eine kundenspezifische Sputter-Quelle mit variablen Targetgrößen (ab 1") für verschiedene Anwendungen der Dünnschichtabscheidung. Bei Co-Sputter-Anordnungen können mehrere Magnetrons in verschiedenen Winkeln durch die Vakuum-Durchführung eingestellt werden.
![SOLAYER – Linear Ion Source SOLAYER - Linear Ion Source](https://solayer.de/wp-content/uploads/2016/11/Components_6.png)
Ionenquelle
Die linearen und runden Ionenquellen sind ideale Komponenten für die Substratreinigung, Ätzen und Ionenbehandlung für PVD/PECVD. Unsere Ionenquellen basieren auf unterschiedlichen Prinzipien der Plasmaerzeugung, wie induktive oder kapazitive Kopplung.
![SOLAYER – Reactive Process Control PEM SOLAYER - Reactive Process Control PEM](https://solayer.de/wp-content/uploads/2016/11/Components_11.png)
Prozessüberwachung & -steuerung
Das Prozessüberwachungs- und –steuerungssystem bietet eine Echtzeitsteuerung vor Ort von vakuum- und plasmagestützten Abscheideprozessen. Es basiert auf Hochgeschwindigkeits-Breitbandspektrometern. Die Multikanal-Einheit steuert reaktive Prozesse, erreicht Langzeitstabilität und stellt die Reproduzierbarkeit der Prozesse sicher.
![SOLAYER – FLA Module SOLAYER - FLA Module](https://solayer.de/wp-content/uploads/2016/11/Components_9.png)
FLA-Modul
Die FLA-Module tempern flache Oberflächenzonen und dünne Schichten auf steifen und flexiblen Substrate in Inline- oder Rolle-zu-Rolle-Produktionsanlagen. Die wassergekühlte Lampen- und Reflektoranordnung kann leicht in Flansche integriert werden für Anwendungen in verschiedenen Prozess- und Atmosphärenumgebungen (z. B. Vakuum, Formiergas, Glove-Box).
![SOLAYER – Targets SOLAYER - Targets](https://solayer.de/wp-content/uploads/2016/11/Components_12.png)
Sputter-Targets
Zum Solayer-Portfolio gehören rotierende, lineare und runde planare Sputter-Targets von sehr hoher Qualität. Die metallischen, keramischen und anorganischen Targets sind optional auf Rückplatten montiert/gebondet. Die Targets werden in Standardgrößen oder kundenspezifisch entsprechend Ihren Anforderungen produziert.
Firmeneigenes Konzept und Konstruktion
Kundenspezifische Komponentenkonstruktion & -entwicklung
Kompaktes, doch robustes Design
Geringe Wartungskosten
Passend zum Einsatz mit Targets jeglicher Anbieter
Einfache Integration in vorhandene Beschichter