Der kundenspezifische „Drop-In“-Prozessdeckel ist ein Komplettpaket des Rotations-Doppelmagnetrons (DRM), bestehend aus Magnetbars, Endblöcken, integrierten Anoden, Netzanschlüssen usw. Die „Drop-In“-Lösung lässt sich leicht anschließen und ist sofort einsatzbereit. Sie bietet Hardware-Einbindung in Ihre vorhandene Beschichtungsanlage.

Das Magnetsystem mit hoher Magnetfeldstärke für Rotations-Magnetrons basiert auf Solayers IN-DRY^®-Magneten, hermetisch gekapselt in einem Mantelrohr aus Edelstahl. Die Aufnahme des Magnetsystems, dessen Position angepasst werden kann, kann für Endblöcke verschiedener Anbieter konfiguriert werden.

Der horizontal oder vertikal montierbare Endblock für Rotations-Magnetrons kann für Standard-Targets aller Anbieter leicht nachgerüstet werden. Das kompakte Design des Endblocks ermöglicht eine größere Target-Materiallänge mit erweitertem Homogenitätsbereich bei gleicher Beschichtungsanlagenbreite.

Die linearen Planar-Magnetrons von Solayer schließen Einzel- und Doppel-Sputter-Quellen ein, mit denen sich eine sehr hohe Target-Ausnutzung erreichen lässt. Durch die membranfreie Konstruktion mit intelligenten Dichtungstechniken kann kein Wasser austreten. Solayers IN-DRY^®-Lösung ermöglicht eine hohe Langzeitstabilität und Performance der Magnetkonfigurationen.

Das Runde-Magnetron ist eine kundenspezifische Sputter-Quelle mit variablen Targetgrößen (ab 1") für verschiedene Anwendungen der Dünnschichtabscheidung. Bei Co-Sputter-Anordnungen können mehrere Magnetrons in verschiedenen Winkeln durch die Vakuum-Durchführung eingestellt werden.

Die linearen und runden Ionenquellen sind ideale Komponenten für die Substratreinigung, Ätzen und Ionenbehandlung für PVD/PECVD. Unsere Ionenquellen basieren auf unterschiedlichen Prinzipien der Plasmaerzeugung, wie induktive oder kapazitive Kopplung.

Das Prozessüberwachungs- und –steuerungssystem bietet eine Echtzeitsteuerung vor Ort von vakuum- und plasmagestützten Abscheideprozessen. Es basiert auf Hochgeschwindigkeits-Breitbandspektrometern. Die Multikanal-Einheit steuert reaktive Prozesse, erreicht Langzeitstabilität und stellt die Reproduzierbarkeit der Prozesse sicher.

Die FLA-Module tempern flache Oberflächenzonen und dünne Schichten auf steifen und flexiblen Substrate in Inline- oder Rolle-zu-Rolle-Produktionsanlagen. Die wassergekühlte Lampen- und Reflektoranordnung kann leicht in Flansche integriert werden für Anwendungen in verschiedenen Prozess- und Atmosphärenumgebungen (z. B. Vakuum, Formiergas, Glove-Box).

Zum Solayer-Portfolio gehören rotierende, lineare und runde planare Sputter-Targets von sehr hoher Qualität. Die metallischen, keramischen und anorganischen Targets sind optional auf Rückplatten montiert/gebondet. Die Targets werden in Standardgrößen oder kundenspezifisch entsprechend Ihren Anforderungen produziert.